三昆LED固化設備制造商談論UVLED光源的新曝光

文章出處：未知責任編輯：三昆科技人氣：發表時間：2021-01-23 10:19

據中科院重慶綠色智能技術研究院相關項目負責人介紹，光刻機是液晶面板制造設備中投資份額最大的關鍵設備。它的關鍵技術一直受到外國公司的控制，限制了該行業的發展。為了打破國外光刻設備在LCD面板行業的壟斷地位，討論了電子信息領域的先進技術三昆科技LED固化設備制造商UVLED光源新曝光
根據中國科學院的數據據重慶綠色智能技術研究院相關項目負責人介紹，光刻機是液晶面板制造設備中投資份額最大的關鍵設備。其關鍵技術一直受到外國公司的限制，制約了該行業的發展。為了打破國外在液晶面板行業中光刻設備的壟斷，響應電子信息領域對先進技術，節能環保的低成本曝光設備的需求，中國科學院重慶研究所美國科學院基于UVLED光源，突破LED/LD光學擴展量解決方案和束角變換理論，LED多自由曲面精密配光技術，紫外波段自由曲面無機光學元件批量生產，對新型曝光模塊進行了研究。技術，光電機電系統集成等多項關鍵技術，成功開發了微電子光刻的“兩個”?十二英寸UVLED平行光曝光模塊”和“ 5KW，8KW，tenKW汞燈替換UVLED光源模組”系列PCB產品，液晶面板，觸摸屏等光刻設備的產品強度，均勻性等多項關鍵指標均優于國外原廠配置，并可以實現了兩條um生產線的生產。產品技術已達到國際領先水平。目前，研發團隊已與重慶方正，深南電路等大型企業達成合作協議，與企業合作完成光刻設備的升級改造。市場上此類光刻設備5萬余臺，產值將超過50億元。

據報道，我國已加入《水am公約》，并禁止在2021年之前進出口和生產含汞商品。該項目“開發和應用低成本光刻工藝和液晶面板設備 “開發UVLED光源模組為大勢所趨，以高效，節能，環保UVLED陣列為曝光光源，通過自由曲面的精確配光和復眼均勻配光方案，大區域高強度均勻曝光，對現有的光刻機汞光源進行了升級改造。僅從電費上計算，每UVLED設備每年就可為公司節省約8萬元的使用成本。如果將目前市場上的5萬盞汞燈雕刻設備全部升級，每年可節省電費40億元。以上產品已申報15項專利，其中2項已獲發明專利授權。為應對當前的機遇和挑戰，在“重慶液晶面板行業共同關鍵技術創新主題專項”的大力支持下，重慶研究院與重慶光電股份有限公司，重慶郵電大學合作計劃將UVLED光源系統引入LCD平板光刻設備中，以“增強LCD面板相關公司的盈利能力和競爭力，促進重慶LCD面板產業的長遠發展”為目標專注于開發用于LCD面板制造的低成本光刻工藝和設備。